O Centro de Fotónica Aplicada (CAP) do INESC TEC  tem experiência na fabricação de micro/nanodispositivos seguindo uma sequência de passos que abrangem a deposição e padronização de sucessivas camadas de semicondutores, metais e óxidos, que estão no centro dos recentes avanços em diversas áreas científicas e tecnológicas modernas.

As atividades do CAP  focam a fabricação de filmes finos por métodos físicos de deposição e a construção de mecanismos baseados nesses filmes. Para desenvolver estas atividades, ao Centro beneficia das suas instalações laboratoriais, que incluem uma sala limpa onde se podem encontrar diversas tecnologias: evaporadores (térmico e por feixe de eletrões), sputtering, Reative ion-etching (RIE), Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD) e litografia (spinner, mask aligner, entre outros).

Para além disso possui ainda uma câmara de ultra-alto vácuo e um laser de excímero (KrF) para deposição por laser pulsado (PLD), máquinas de corte e polimento, fornos e micromaquinação de silício.

Parceiros:

• University of Glasgow (Reino Unido)
• Universidade do Porto (Portugal)
• Universidade de Aveiro (Portugal)
• Université Paris Sud (França)
• Université des Sciences et Technologies de Lille (França)
• Universitaet Hamburg (Alemanha)
• École Polytechnique Fédérale de Lausanne (Suíça)